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集成電路無塵車間設計施工要求
來源：hardcandy99.cn 發布時間：2021/11/24 14:16:15
集(ji)成電路(lu)無(wu)塵車間是為了滿(man)足半導體制(zhi)造工藝需求的(de)潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)室(shi)，該無塵(chen)車間對環(huan)境潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)度(du)、溫濕度(du)、振動、ESD、AMC控(kong)制(zhi)等都有一定的(de)要求。相對于其他工業潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)室(shi)，集(ji)成電(dian)路制(zhi)造無塵(chen)車間有面積大、潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)等級高、溫濕度(du)控(kong)制(zhi)精度(du)高等特點(dian)。
根(gen)據潔(jie)(jie)凈(jing)室車間空氣循環特點(dian)可以將潔(jie)(jie)凈(jing)室分(fen)為三種(zhong)類(lei)型：循環空調機配合高效送風(feng)口系(xi)統、循環風(feng)機配合濕式密封系(xi)統和(he)FFU循環系(xi)統。
第一(yi)種形式在小(xiao)規模低(di)等級要求的潔凈室車間設計中被廣泛(fan)應用，對(dui)于大面(mian)積(ji)高(gao)等級的潔凈車間則存在運(yun)行成本過(guo)高(gao)、占用空間過(guo)大等缺點。
第二(er)種形式的設計(ji)可以滿(man)足集成電路(lu)制(zhi)造無塵(chen)車間(jian)大面積高等級的要求，但運行成本較高，并且潔(jie)凈室風(feng)速(su)、風(feng)量調(diao)節困(kun)難(nan)，系統(tong)升級改造困(kun)難(nan)，因此操作靈活性很低。
第三種的(de)FFU循環系統不(bu)僅節省運行空間、潔凈(jing)度安全性高(gao)、運行成本低，而(er)且操作靈活性很高(gao)，可以(yi)在不(bu)影響生產的(de)情況下隨時(shi)進(jin)行系統升(sheng)級和調整(zheng)，這些都能很好地滿足半導體制造(zao)的(de)需求，因(yin)此在半導體制造(zao)業FFU循環系統逐漸成為最主要的(de)凈(jing)化設計方案。
FFU循環系統的特點是：整個潔(jie)凈室由靜壓(ya)(ya)層、工藝(yi)(yi)(yi)層、工藝(yi)(yi)(yi)輔(fu)助(zhu)層和回風(feng)通道組成，由FFU提供循環空氣的動力(li)，將(jiang)新風(feng)、循環風(feng)混合后(hou)通過(guo)高效過(guo)濾器送入工藝(yi)(yi)(yi)層和工藝(yi)(yi)(yi)輔(fu)助(zhu)層，靜壓(ya)(ya)層相對于工藝(yi)(yi)(yi)層為負壓(ya)(ya)。此外(wai)，還有(you)生產輔(fu)助(zhu)區為集成電路制(zhi)造廠務設備區域(yu)，包括電力(li)供應、氣體和化學品(pin)供應、超(chao)純(chun)水供應等。
;集成(cheng)電路制(zhi)造對無塵車間環(huan)境(jing)的(de)(de)控制(zhi)有較為(wei)嚴(yan)格的(de)(de)要求。不(bu)同的(de)(de)工藝制(zhi)程對潔凈(jing)度的(de)(de)要求也各不(bu)相同，例如光刻(ke)要(yao)求在1級的微(wei)環(huan)境(jing)下，而(er)化學機械研磨則只要(yao)求1000級的環(huan)境(jing)即(ji)可。
集成(cheng)電路(lu)制造是(shi)高能(neng)耗的(de)產(chan)業，而(er)潔凈空調系統的(de)能(neng)耗則占(zhan)其中的(de)30%以上，因此(ci)節能(neng)安全的(de)潔凈室設計和各種熱能(neng)回收設計將是(shi)未來(lai)的(de)發展方向。
隨著集成電路制造(zao)(zao)(zao)技術的(de)不斷(duan)升級(ji)，主(zhu)流大廠已經進入了納(na)米(mi)時代，集成電路制造(zao)(zao)(zao)潔凈廠房的(de)設計建造(zao)(zao)(zao)和節能創(chuang)新也需(xu)要不斷(duan)提升，為先進制程產(chan)品生(sheng)產(chan)提供(gong)保障。
根(gen)據潔(jie)(jie)凈(jing)室車間空氣循環特點(dian)可以將潔(jie)(jie)凈(jing)室分(fen)為三種(zhong)類(lei)型：循環空調機配合高效送風(feng)口系(xi)統、循環風(feng)機配合濕式密封系(xi)統和(he)FFU循環系(xi)統。
第一(yi)種形式在小(xiao)規模低(di)等級要求的潔凈室車間設計中被廣泛(fan)應用，對(dui)于大面(mian)積(ji)高(gao)等級的潔凈車間則存在運(yun)行成本過(guo)高(gao)、占用空間過(guo)大等缺點。
第二(er)種形式的設計(ji)可以滿(man)足集成電路(lu)制(zhi)造無塵(chen)車間(jian)大面積高等級的要求，但運行成本較高，并且潔(jie)凈室風(feng)速(su)、風(feng)量調(diao)節困(kun)難(nan)，系統(tong)升級改造困(kun)難(nan)，因此操作靈活性很低。
第三種的(de)FFU循環系統不(bu)僅節省運行空間、潔凈(jing)度安全性高(gao)、運行成本低，而(er)且操作靈活性很高(gao)，可以(yi)在不(bu)影響生產的(de)情況下隨時(shi)進(jin)行系統升(sheng)級和調整(zheng)，這些都能很好地滿足半導體制造(zao)的(de)需求，因(yin)此在半導體制造(zao)業FFU循環系統逐漸成為最主要的(de)凈(jing)化設計方案。
FFU循環系統的特點是：整個潔(jie)凈室由靜壓(ya)(ya)層、工藝(yi)(yi)(yi)層、工藝(yi)(yi)(yi)輔(fu)助(zhu)層和回風(feng)通道組成，由FFU提供循環空氣的動力(li)，將(jiang)新風(feng)、循環風(feng)混合后(hou)通過(guo)高效過(guo)濾器送入工藝(yi)(yi)(yi)層和工藝(yi)(yi)(yi)輔(fu)助(zhu)層，靜壓(ya)(ya)層相對于工藝(yi)(yi)(yi)層為負壓(ya)(ya)。此外(wai)，還有(you)生產輔(fu)助(zhu)區為集成電路制(zhi)造廠務設備區域(yu)，包括電力(li)供應、氣體和化學品(pin)供應、超(chao)純(chun)水供應等。
;集成(cheng)電路制(zhi)造對無塵車間環(huan)境(jing)的(de)(de)控制(zhi)有較為(wei)嚴(yan)格的(de)(de)要求。不(bu)同的(de)(de)工藝制(zhi)程對潔凈(jing)度的(de)(de)要求也各不(bu)相同，例如光刻(ke)要(yao)求在1級的微(wei)環(huan)境(jing)下，而(er)化學機械研磨則只要(yao)求1000級的環(huan)境(jing)即(ji)可。
另外，集成(cheng)電路制造(zao)潔(jie)凈廠房對噪聲、微振(zhen)、照度等都有(you)相關的(de)規定和要求，尤(you)其是振(zhen)動的(de)控制，在潔(jie)凈室的(de)建筑結構設計上就要有(you)所要求。
集成(cheng)電路(lu)制造是(shi)高能(neng)耗的(de)產(chan)業，而(er)潔凈空調系統的(de)能(neng)耗則占(zhan)其中的(de)30%以上，因此(ci)節能(neng)安全的(de)潔凈室設計和各種熱能(neng)回收設計將是(shi)未來(lai)的(de)發展方向。
隨著集成電路制造(zao)(zao)(zao)技術的(de)不斷(duan)升級(ji)，主(zhu)流大廠已經進入了納(na)米(mi)時代，集成電路制造(zao)(zao)(zao)潔凈廠房的(de)設計建造(zao)(zao)(zao)和節能創(chuang)新也需(xu)要不斷(duan)提升，為先進制程產(chan)品生(sheng)產(chan)提供(gong)保障。
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