FAB無塵室(shi)是芯片(pian)生產加工(gong)的(de)凈(jing)(jing)化(hua)車間的(de)一般(ban)稱呼。tsmc、中(zhong)芯國際的(de)生產線都叫fab。凈(jing)(jing)化(hua)車間不一樣等級(ji)(ji)氣(qi)(qi)體潔(jie)凈(jing)(jing)度(du)等級(ji)(ji)的(de)空氣(qi)(qi)過(guo)濾網的(de)采用、布(bu)局(ju)關鍵(jian)點：針對300000級(ji)(ji)空氣(qi)(qi)過(guo)濾解決，可(ke)選(xuan)用亞(ya)高效送風(feng)口(kou)替代(dai)高效送風(feng)口(kou)；氣(qi)(qi)體潔(jie)凈(jing)(jing)度(du)等級(ji)(ji)100級(ji)(ji)、10000級(ji)(ji)及100000級(ji)(ji)的(de)空氣(qi)(qi)過(guo)濾解決，應選(xuan)用初、中(zhong)、高效送風(feng)口(kou)三(san)級(ji)(ji)過(guo)濾裝置(zhi)。