半導體潔凈室
亦稱為無塵室或清凈室。是指將一定空(kong)間范(fan)(fan)圍內之(zhi)空(kong)氣中的微粒子、有害空(kong)氣、細菌等污染物排除,并將室內之(zhi)溫(wen)度、潔凈度、室內壓力、氣流(liu)速度與氣流(liu)分布、噪 音(yin)振動及照明(ming)、靜電(dian)控制在(zai)某一需(xu)求范(fan)(fan)圍內,而所給予特別設計之(zhi)房(fang)間。
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