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無塵車間
潔(jie)凈車(che)間，亦稱潔(jie)凈室(shi)(shi)、無塵車(che)間、無塵室(shi)(shi)或清凈室(shi)(shi)。潔(jie)凈室(shi)(shi)的(de)主要功能為室(shi)(shi)內(nei)污染控(kong)制，沒有潔(jie)凈室(shi)(shi)，污染敏感零件不(bu)可能批量生產。在FED-STD-2里面，潔(jie)凈室(shi)(shi)被定(ding)義為具備(bei)空氣過濾、分配、優化、構(gou)造材料和裝置的(de)房間，其(qi)中(zhong)特定(ding)的(de)規則的(de)操(cao)作程序以(yi)控(kong)制空氣懸浮微粒(li)濃度，從而(er)達到(dao)適當的(de)微粒(li)潔(jie)凈度級別。
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