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半導體凈化廠房
潔(jie)凈(jing)廠(chang)房也叫(jiao)無塵車(che)間(jian)、潔(jie)凈(jing)室(Clean Room），是(shi)指將(jiang)一定空間(jian)范圍(wei)之(zhi)內(nei)空氣中的(de)微粒子(zi)、有害空氣、細菌等(deng)污染物(wu)排(pai)除，并將(jiang)室內(nei)溫度(du)(du)、潔(jie)凈(jing)度(du)(du)、室內(nei)壓(ya)力(li)、氣流(liu)(liu)速度(du)(du)與氣流(liu)(liu)分布(bu)、噪音振動及(ji)照(zhao)明、靜電控制在某(mou)一需求范圍(wei)內(nei)，而所給予特別設計(ji)的(de)房間(jian)。亦即是(shi)不(bu)論外在的(de)空氣條件如何變化，其室內(nei)均能具有維(wei)持原先所設定要求的(de)潔(jie)凈(jing)度(du)(du)、溫濕度(du)(du)及(ji)壓(ya)力(li)等(deng)性(xing)(xing)能的(de)特性(xing)(xing)。
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