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潔凈室的八種排風系統介紹
來源：hardcandy99.cn 發布時間：2021/11/19 11:27:27
在微電子(zi)用潔凈室、藥(yao)品生產用潔(jie)凈室(shi)中(zhong)(zhong)，常常在產(chan)品生產(chan)過程(cheng)(cheng)(cheng)中(zhong)(zhong)使用(yong)或產(chan)生，各種(zhong)酸性(xing)和(he)堿性(xing)物(wu)質、有(you)(you)機溶劑和(he)一般氣(qi)(qi)體(ti)、特種(zhong)氣(qi)(qi)體(ti)；在致敏(min)性(xing)藥物(wu)、某些甾體(ti)藥物(wu)、高活性(xing)、有(you)(you)毒(du)性(xing)藥物(wu)生產(chan)過程(cheng)(cheng)(cheng)還(huan)會有(you)(you)相應(ying)的有(you)(you)害物(wu)質排(pai)出(chu)(chu)或泄漏入潔(jie)凈室內(nei)，為此對(dui)于上述產(chan)品生產(chan)用(yong)潔(jie)凈室內(nei)可能(neng)排(pai)出(chu)(chu)各種(zhong)有(you)(you)害物(wu)質、氣(qi)(qi)體(ti)或粉塵(chen)的生產(chan)工(gong)藝(yi)設備或工(gong)序設置(zhi)局部(bu)排(pai)風裝(zhuang)置(zhi)或全室排(pai)風裝(zhuang)置(zhi)，按生產(chan)工(gong)藝(yi)過程(cheng)(cheng)(cheng)排(pai)出(chu)(chu)的廢(fei)氣(qi)(qi)的類型可將排(pai)風裝(zhuang)置(zhi)（系統(tong)）大體(ti)劃分為下(xia)列幾種(zhong)類型。
1）一般(ban)排風系統(tong)
這(zhe)是指在生產輔助(zhu)用室、生活(huo)用室，如值班室、衛生間(jian)等排(pai)出的一般廢氣(qi)(qi)，大多數(shu)情況(kuang)下不(bu)需要進(jin)行特殊處理即可直接排(pai)入大氣(qi)(qi)。
2）有機氣體排風系統
在(zai)產品(pin)生產中(zhong)使(shi)用各類有(you)機(ji)物(wu)質、溶劑(ji)作為原輔材料或清洗劑(ji)時(shi)，都將會在(zai)相關(guan)的(de)(de)(de)(de)場所或設備處(chu)散發有(you)機(ji)物(wu)質、溶劑(ji)的(de)(de)(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)，對這類場所或設備均應(ying)設置(zhi)排(pai)風裝(zhuang)置(zhi)。在(zai)一般情況下，有(you)機(ji)排(pai)風系統中(zhong)的(de)(de)(de)(de)有(you)機(ji)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)濃度(du)是(shi)很低的(de)(de)(de)(de)，若能(neng)達(da)到標準規(gui)定的(de)(de)(de)(de)大氣(qi)(qi)(qi)排(pai)放標準時(shi)可直接(jie)排(pai)入大氣(qi)(qi)(qi)，不(bu)需設置(zhi)廢氣(qi)(qi)(qi)處(chu)理裝(zhuang)置(zhi)；當排(pai)風系統中(zhong)有(you)機(ji)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)濃度(du)超(chao)過(guo)規(gui)定時(shi)，應(ying)設有(you)機(ji)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)處(chu)理裝(zhuang)置(zhi)，經(jing)過(guo)處(chu)理達(da)標后才能(neng)排(pai)入大氣(qi)(qi)(qi)。有(you)機(ji)排(pai)氣(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)凈化處(chu)理有(you)活(huo)性(xing)炭吸附(fu)法(fa)、液(ye)體(ti)(ti)吸收(shou)法(fa)和(he)催化燃燒(shao)法(fa)等(deng)，活(huo)性(xing)炭吸附(fu)注(zhu)主要用于中(zhong)小流量(liang)的(de)(de)(de)(de)不(bu)含(han)粉塵、膠粘(zhan)物(wu)質的(de)(de)(de)(de)苯(ben)(ben)類、汽油類有(you)機(ji)排(pai)氣(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)處(chu)理；液(ye)體(ti)(ti)吸收(shou)法(fa)，設備簡單(dan)、耗(hao)能(neng)低，但吸收(shou)效率不(bu)高；催化燃燒(shao)法(fa)主要用于較(jiao)高濃度(du)的(de)(de)(de)(de)苯(ben)(ben)類、醇類、脂(zhi)類、汽油等(deng)有(you)機(ji)排(pai)氣(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)處(chu)理。有(you)機(ji)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)處(chu)理裝(zhuang)置(zhi)應(ying)根據排(pai)風系統所含(han)有(you)機(ji)物(wu)質的(de)(de)(de)(de)品(pin)種(zhong)、濃度(du)情況選用相應(ying)的(de)(de)(de)(de)處(chu)理設備。
3）酸性氣體排風(feng)系(xi)統
在(zai)產(chan)(chan)品生產(chan)(chan)中(zhong)的(de)(de)(de)濕法(fa)化學(xue)腐蝕、酸(suan)(suan)液清洗、實(shi)(shi)驗室內均有酸(suan)(suan)性氣(qi)體(ti)排出，在(zai)這(zhe)類(lei)酸(suan)(suan)性氣(qi)體(ti)的(de)(de)(de)排風系統通常設(she)(she)置溫式(shi)洗氣(qi)吸收塔(ta)，處理后排入大(da)氣(qi)，圖5-56是(shi)幾種吸收式(shi)洗氣(qi)塔(ta)的(de)(de)(de)形(xing)式(shi)。實(shi)(shi)際(ji)設(she)(she)計時應根據酸(suan)(suan)性氣(qi)體(ti)的(de)(de)(de)類(lei)型、濃度選用合適(shi)的(de)(de)(de)吸收液和吸收塔(ta)的(de)(de)(de)形(xing)式(shi)[20]。
4）堿性氣體排風系統(tong)
對生產過(guo)程中(zhong)的(de)各種爐(lu)子、高溫滅菌設備等均有熱(re)氣排(pai)出，由于(yu)排(pai)氣溫度校高，有時(shi)可采用(yong)熱(re)回收(shou)等方式進(jin)行處理，若排(pai)氣量較小或(huo)不(bu)便進(jin)行處理時(shi)，在采取必要的(de)隔熱(re)措施后直接排(pai)入(ru)大氣。
6）含粉塵(chen)的排風(feng)系統
鑒于產(chan)品品種不(bu)同、生產(chan)工(gong)藝過(guo)(guo)程不(bu)同，排(pai)氣(qi)中的(de)粉塵性質、濃(nong)度均各(ge)不(bu)同，應根(gen)據其排(pai)氣(qi)中的(de)粉塵性質、濃(nong)度選用各(ge)類除塵裝(zhuang)置，一(yi)(yi)般采用布袋除塵器、帶(dai)過(guo)(guo)濾(lv)元件的(de)過(guo)(guo)濾(lv)裝(zhuang)置[21]，圖5-57是一(yi)(yi)種帶(dai)過(guo)(guo)濾(lv)元件的(de)過(guo)(guo)濾(lv)除塵器。
此類(lei)裝(zhuang)置(zhi)都可(ke)以采取(qu)取(qu)拍(pai)打(da)反(fan)吹或(huo)更換過濾器元件的(de)方式，使(shi)除塵(chen)裝(zhuang)置(zhi)可(ke)較長期的(de)使(shi)用。對于某些含塵(chen)濃度很高的(de)排(pai)風系統根據工(gong)程具體情況有(you)時尚需(xu)設置(zhi)二級除塵(chen)裝(zhuang)置(zhi)將(jiang)大(da)部分粉(fen)塵(chen)去除后(hou)再(zai)送入前述的(de)布袋或(huo)過濾除塵(chen)裝(zhuang)置(zhi)，這樣做才(cai)能滿足大(da)氣排(pai)放標(biao)準的(de)要求，從而穩定(ding)、經濟地(di)運行。
7）特殊氣體排氣系統
在(zai)半導體集成電路生(sheng)產(chan)中(zhong)常常需使用(yong)一些特(te)(te)殊(shu)氣(qi)體，其中(zhong)許(xu)多特(te)(te)殊(shu)氣(qi)體均屬于(yu)易(yi)燃(ran)易(yi)爆或(huo)有毒甚(shen)至劇毒或(huo)有腐蝕性的(de)氣(qi)體，對于(yu)這(zhe)類排(pai)(pai)(pai)氣(qi)系統(tong)首先應按特(te)(te)氣(qi)的(de)品種、性質(zhi)劃分(fen)排(pai)(pai)(pai)氣(qi)系統(tong)，必須(xu)防止在(zai)排(pai)(pai)(pai)氣(qi)系統(tong)中(zhong)產(chan)生(sheng)化學反(fan)應；其次應選用(yong)專用(yong)的(de)廢棄處理(li)裝置(zhi)，特(te)(te)氣(qi)排(pai)(pai)(pai)氣(qi)的(de)處理(li)設(she)備(bei)由稀釋法(fa)、吸(xi)收法(fa)、吸(xi)附法(fa)、催化燃(ran)燒法(fa)等；再者是排(pai)(pai)(pai)氣(qi)系統(tong)的(de)設(she)備(bei)、管道的(de)材(cai)料選用(yong)必須(xu)根(gen)據排(pai)(pai)(pai)氣(qi)中(zhong)的(de)特(te)(te)氣(qi)性質(zhi)選擇相適應的(de)額的(de)材(cai)質(zhi)，并不得與排(pai)(pai)(pai)放的(de)特(te)(te)氣(qi)發生(sheng)反(fan)應。
8）藥品生產中有害(hai)、有毒的排風系統
在生產或分裝(zhuang)青(qing)霉(mei)素等強(qiang)致敏性藥(yao)(yao)物(wu)、某些甾(zai)體(ti)藥(yao)(yao)物(wu)以(yi)及高(gao)活性、有(you)毒(du)藥(yao)(yao)物(wu)的(de)房(fang)間(jian)、二類危險度以(yi)上病(bing)原體(ti)操作區的(de)排(pai)(pai)風口，應安裝(zhuang)高(gao)效(xiao)過濾器(qi)，使這些藥(yao)(yao)物(wu)引起的(de)污染危險降低(di)至低(di)限度。并且此類排(pai)(pai)風系統的(de)排(pai)(pai)入大(da)氣的(de)排(pai)(pai)風口與(yu)其他藥(yao)(yao)品生產用凈化(hua)空調系統的(de)新(xin)風進風口應相隔一定距離(li)。
1）一般(ban)排風系統(tong)
這(zhe)是指在生產輔助(zhu)用室、生活(huo)用室，如值班室、衛生間(jian)等排(pai)出的一般廢氣(qi)(qi)，大多數(shu)情況(kuang)下不(bu)需要進(jin)行特殊處理即可直接排(pai)入大氣(qi)(qi)。
2）有機氣體排風系統
在(zai)產品(pin)生產中(zhong)使(shi)用各類有(you)機(ji)物(wu)質、溶劑(ji)作為原輔材料或清洗劑(ji)時(shi)，都將會在(zai)相關(guan)的(de)(de)(de)(de)場所或設備處(chu)散發有(you)機(ji)物(wu)質、溶劑(ji)的(de)(de)(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)，對這類場所或設備均應(ying)設置(zhi)排(pai)風裝(zhuang)置(zhi)。在(zai)一般情況下，有(you)機(ji)排(pai)風系統中(zhong)的(de)(de)(de)(de)有(you)機(ji)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)濃度(du)是(shi)很低的(de)(de)(de)(de)，若能(neng)達(da)到標準規(gui)定的(de)(de)(de)(de)大氣(qi)(qi)(qi)排(pai)放標準時(shi)可直接(jie)排(pai)入大氣(qi)(qi)(qi)，不(bu)需設置(zhi)廢氣(qi)(qi)(qi)處(chu)理裝(zhuang)置(zhi)；當排(pai)風系統中(zhong)有(you)機(ji)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)濃度(du)超(chao)過(guo)規(gui)定時(shi)，應(ying)設有(you)機(ji)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)處(chu)理裝(zhuang)置(zhi)，經(jing)過(guo)處(chu)理達(da)標后才能(neng)排(pai)入大氣(qi)(qi)(qi)。有(you)機(ji)排(pai)氣(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)凈化處(chu)理有(you)活(huo)性(xing)炭吸附(fu)法(fa)、液(ye)體(ti)(ti)吸收(shou)法(fa)和(he)催化燃燒(shao)法(fa)等(deng)，活(huo)性(xing)炭吸附(fu)注(zhu)主要用于中(zhong)小流量(liang)的(de)(de)(de)(de)不(bu)含(han)粉塵、膠粘(zhan)物(wu)質的(de)(de)(de)(de)苯(ben)(ben)類、汽油類有(you)機(ji)排(pai)氣(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)處(chu)理；液(ye)體(ti)(ti)吸收(shou)法(fa)，設備簡單(dan)、耗(hao)能(neng)低，但吸收(shou)效率不(bu)高；催化燃燒(shao)法(fa)主要用于較(jiao)高濃度(du)的(de)(de)(de)(de)苯(ben)(ben)類、醇類、脂(zhi)類、汽油等(deng)有(you)機(ji)排(pai)氣(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)處(chu)理。有(you)機(ji)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)處(chu)理裝(zhuang)置(zhi)應(ying)根據排(pai)風系統所含(han)有(you)機(ji)物(wu)質的(de)(de)(de)(de)品(pin)種(zhong)、濃度(du)情況選用相應(ying)的(de)(de)(de)(de)處(chu)理設備。
3）酸性氣體排風(feng)系(xi)統
在(zai)產(chan)(chan)品生產(chan)(chan)中(zhong)的(de)(de)(de)濕法(fa)化學(xue)腐蝕、酸(suan)(suan)液清洗、實(shi)(shi)驗室內均有酸(suan)(suan)性氣(qi)體(ti)排出，在(zai)這(zhe)類(lei)酸(suan)(suan)性氣(qi)體(ti)的(de)(de)(de)排風系統通常設(she)(she)置溫式(shi)洗氣(qi)吸收塔(ta)，處理后排入大(da)氣(qi)，圖5-56是(shi)幾種吸收式(shi)洗氣(qi)塔(ta)的(de)(de)(de)形(xing)式(shi)。實(shi)(shi)際(ji)設(she)(she)計時應根據酸(suan)(suan)性氣(qi)體(ti)的(de)(de)(de)類(lei)型、濃度選用合適(shi)的(de)(de)(de)吸收液和吸收塔(ta)的(de)(de)(de)形(xing)式(shi)[20]。
4）堿性氣體排風系統(tong)
在排(pai)(pai)(pai)風系統(tong)氣(qi)體(ti)中含有堿(jian)性(xing)(xing)物質或在排(pai)(pai)(pai)氣(qi)中混(hun)入堿(jian)性(xing)(xing)化(hua)學試劑(ji)，與酸性(xing)(xing)氣(qi)體(ti)排(pai)(pai)(pai)風系統(tong)類(lei)似，通常采(cai)用濕(shi)式洗氣(qi)吸(xi)(xi)收塔處(chu)理(li)(li)(li)后排(pai)(pai)(pai)入大(da)(da)氣(qi)。近年來，由(you)于(yu)大(da)(da)氣(qi)排(pai)(pai)(pai)放(fang)標準越來越嚴格，需對(dui)含有堿(jian)性(xing)(xing)物質（或酸性(xing)(xing)物質）濃度(du)較低的(de)排(pai)(pai)(pai)氣(qi)也應(ying)進(jin)行(xing)凈(jing)化(hua)處(chu)理(li)(li)(li)才(cai)能達到排(pai)(pai)(pai)放(fang)標準，為此可采(cai)用專用吸(xi)(xi)附劑(ji)對(dui)堿(jian)性(xing)(xing)排(pai)(pai)(pai)氣(qi)（或酸性(xing)(xing)排(pai)(pai)(pai)氣(qi)）進(jin)行(xing)處(chu)理(li)(li)(li)達標后才(cai)能排(pai)(pai)(pai)入大(da)(da)氣(qi)，此種吸(xi)(xi)附劑(ji)一般為一次性(xing)(xing)的(de)，使(shi)用后應(ying)進(jin)行(xing)集(ji)中處(chu)理(li)(li)(li)，通常作為固體(ti)廢(fei)棄物由(you)城市垃圾處(chu)理(li)(li)(li)場集(ji)中處(chu)理(li)(li)(li)。
對生產過(guo)程中(zhong)的(de)各種爐(lu)子、高溫滅菌設備等均有熱(re)氣排(pai)出，由于(yu)排(pai)氣溫度校高，有時(shi)可采用(yong)熱(re)回收(shou)等方式進(jin)行處理，若排(pai)氣量較小或(huo)不(bu)便進(jin)行處理時(shi)，在采取必要的(de)隔熱(re)措施后直接排(pai)入(ru)大氣。
6）含粉塵(chen)的排風(feng)系統
鑒于產(chan)品品種不(bu)同、生產(chan)工(gong)藝過(guo)(guo)程不(bu)同，排(pai)氣(qi)中的(de)粉塵性質、濃(nong)度均各(ge)不(bu)同，應根(gen)據其排(pai)氣(qi)中的(de)粉塵性質、濃(nong)度選用各(ge)類除塵裝(zhuang)置，一(yi)(yi)般采用布袋除塵器、帶(dai)過(guo)(guo)濾(lv)元件的(de)過(guo)(guo)濾(lv)裝(zhuang)置[21]，圖5-57是一(yi)(yi)種帶(dai)過(guo)(guo)濾(lv)元件的(de)過(guo)(guo)濾(lv)除塵器。
此類(lei)裝(zhuang)置(zhi)都可(ke)以采取(qu)取(qu)拍(pai)打(da)反(fan)吹或(huo)更換過濾器元件的(de)方式，使(shi)除塵(chen)裝(zhuang)置(zhi)可(ke)較長期的(de)使(shi)用。對于某些含塵(chen)濃度很高的(de)排(pai)風系統根據工(gong)程具體情況有(you)時尚需(xu)設置(zhi)二級除塵(chen)裝(zhuang)置(zhi)將(jiang)大(da)部分粉(fen)塵(chen)去除后(hou)再(zai)送入前述的(de)布袋或(huo)過濾除塵(chen)裝(zhuang)置(zhi)，這樣做才(cai)能滿足大(da)氣排(pai)放標(biao)準的(de)要求，從而穩定(ding)、經濟地(di)運行。
7）特殊氣體排氣系統
在(zai)半導體集成電路生(sheng)產(chan)中(zhong)常常需使用(yong)一些特(te)(te)殊(shu)氣(qi)體，其中(zhong)許(xu)多特(te)(te)殊(shu)氣(qi)體均屬于(yu)易(yi)燃(ran)易(yi)爆或(huo)有毒甚(shen)至劇毒或(huo)有腐蝕性的(de)氣(qi)體，對于(yu)這(zhe)類排(pai)(pai)(pai)氣(qi)系統(tong)首先應按特(te)(te)氣(qi)的(de)品種、性質(zhi)劃分(fen)排(pai)(pai)(pai)氣(qi)系統(tong)，必須(xu)防止在(zai)排(pai)(pai)(pai)氣(qi)系統(tong)中(zhong)產(chan)生(sheng)化學反(fan)應；其次應選用(yong)專用(yong)的(de)廢棄處理(li)裝置(zhi)，特(te)(te)氣(qi)排(pai)(pai)(pai)氣(qi)的(de)處理(li)設(she)備(bei)由稀釋法(fa)、吸(xi)收法(fa)、吸(xi)附法(fa)、催化燃(ran)燒法(fa)等；再者是排(pai)(pai)(pai)氣(qi)系統(tong)的(de)設(she)備(bei)、管道的(de)材(cai)料選用(yong)必須(xu)根(gen)據排(pai)(pai)(pai)氣(qi)中(zhong)的(de)特(te)(te)氣(qi)性質(zhi)選擇相適應的(de)額的(de)材(cai)質(zhi)，并不得與排(pai)(pai)(pai)放的(de)特(te)(te)氣(qi)發生(sheng)反(fan)應。
8）藥品生產中有害(hai)、有毒的排風系統
在生產或分裝(zhuang)青(qing)霉(mei)素等強(qiang)致敏性藥(yao)(yao)物(wu)、某些甾(zai)體(ti)藥(yao)(yao)物(wu)以(yi)及高(gao)活性、有(you)毒(du)藥(yao)(yao)物(wu)的(de)房(fang)間(jian)、二類危險度以(yi)上病(bing)原體(ti)操作區的(de)排(pai)(pai)風口，應安裝(zhuang)高(gao)效(xiao)過濾器(qi)，使這些藥(yao)(yao)物(wu)引起的(de)污染危險降低(di)至低(di)限度。并且此類排(pai)(pai)風系統的(de)排(pai)(pai)入大(da)氣的(de)排(pai)(pai)風口與(yu)其他藥(yao)(yao)品生產用凈化(hua)空調系統的(de)新(xin)風進風口應相隔一定距離(li)。
上一條：
電子制造業潔凈室的特點
下一條：
車間凈化工程不同行業的區別
